本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" />2026-07-28 06:33

巴德士漆荣获“2014最具影响力品牌”
10号—12号,注定是令人瞩目的日子,10号APEC会议各国首脑齐聚北京,11号“双十一”互联网购物狂欢节交易破500亿,12号巴德士环保漆同家居业的各位领袖精英齐聚在搜狐焦点家居的互联网盛典。当“互联网经济”作为新话题被引入中国主场的APEC会议,互联网经济推动的变革正迅速到来,互联网已经深入到我们生活的方方面面,包括与我们息息相关的家居行业。
在当天的互联网盛典当中加入了很多独特新颖的网络元素,很多好玩的环节,“喜大普奔”、“且行且珍惜”、“累觉不爱”、“请叫我雷锋”……这是现场的互联网热词和弹幕,供大家选择和玩耍。大家可以把想说的话随时发到屏幕上,也可以提问在座的其他小伙伴,参与到轻松欢乐的弹幕吐槽中来,享受互联网带来的乐趣,众多企业的领导和代表也都聚集在一起,深入探讨家居互联网的未来。

巴德士漆荣获“2014最具影响力品牌”
巴德士漆近年来在互联网领域大展拳脚,已在网络宣传、网络招商、网络销售三个方面重点投入、着重发力,建立了天猫、京东、阿里巴巴等主流电商平台的官方旗舰店,建立和健全了巴德士漆的网络部门。在互联网上的持续发力,使得巴德士漆安全环保与优越的涂装性能为众多消费人群所熟知,品牌影响力不容小觑!互联网见证了巴德士在2014年所取得的卓越成就。
作为涂料行业的领军品牌之一,环保漆第一品牌巴德士凭借自己强大的科技和创新能力,产品研发从消费者立场出发力求环保,为“好家居”代言,是当之无愧的“2014最具影响力品牌”!巴德士仍将借助互联网平台进一步提高品牌影响力,打造世界级的民族涂料领导品牌!
" />2026-07-28 06:32
(相关资料图)新华社哈尔滨12月5日电(记者强勇、孙晓宇)中国石油大庆油田12月5日发布消息,经过5年集中勘探开发,大庆古龙页岩油年产量已突破百万吨,实现页岩油规模化效益开采。
作为我国重要的战略接替资源,页岩油具有分布面积广、资源潜力大、储量规模远超常规油气等优势,将成为保障国家能源安全、推动油气增储上产的重要资源。
大庆古龙页岩油属于典型的陆相泥纹型页岩油,储层以纳米级孔隙为主,开发难度陡增。为攻克这一难题,大庆油田将古龙页岩油勘探开发列为“1号工程”,全力推进古龙陆相页岩油国家级示范区建设。
依托持续技术创新,大庆油田实现从陆相页岩生油到陆相页岩产油的理论突破,形成5项关键核心技术,为页岩油规模化开发奠定坚实基础。
2021年大庆油田启动古龙陆相页岩油国家级示范区建设当年,页岩油产量达1.5万吨;2022年进入规模化试采初期,年产量提升至8.6万吨;2023年,产量超过17万吨;2024年,产量超40万吨;2025年以来,年产量已突破100万吨,实现了连年倍增、快速上产。
[责任编辑:朱国义]
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" />2026-07-28 06:15
3月25号消息,杜比实验室(纽交所代码:DLB)今日宣布,公司荣登《Fast Company》(《快公司》)2026年“全球最具创新力公司”权威榜单。本年度榜单聚焦通过创新成果重塑行业格局与文化生态的领军企业。杜比凭借杜比视界第二代(Dolby Vision 2)在消费电子类目中脱颖而出,这项突破性科技将推动电视画质迈向新纪元,提升观众的内容体验。

杜比实验室全球高级副总裁兼首席营销官陶德鹏(Todd Pendleton)表示:“我们非常荣幸第四次荣获‘全球最具创新力公司’奖项,这印证了杜比始终致力于推动前沿科技创新、为创作者赋能、为观众革新娱乐体验方式的坚定承诺。杜比视界第二代延续了这一愿景,为画质树立新标杆,让全球各地的屏幕能够呈现更栩栩如生、更具沉浸感的故事。”
作为沉浸式娱乐领域的先驱,杜比通过杜比视界和杜比全景声为数十亿台设备提供支持,覆盖电视、家庭影院系统、智能手机、笔记本电脑及汽车等众多领域。在此基础上,杜比视界第二代针对电视观看体验长期存在的痛点进一步升级——无论是画面过暗的困扰,还是消除抖动或肥皂剧效应以实现更具影院感的体验。凭借杜比新一代图像引擎(Image Engine)、内容智能(Content Intelligence)与真实动态(Authentic Motion)等创新,杜比视界第二代助力创作者打造更栩栩如生、精准细腻且富有情感张力的叙事体验。
杜比视界第二代的行业影响力持续扩大。自从在IFA 2025展会首次亮相以来,三个全球领先的电视品牌——海信、TCL和TP Vision均已宣布支持该技术,为全球更多屏幕带来新一代杜比视界画质。在内容领域,Peakcock和CANAL+正积极推进对这一技术的采用,进一步巩固杜比在定义电影、流媒体及体育直播等优质娱乐体验的未来的行业地位。
“全球最具创新力公司”是《Fast Company》的标志性榜单,也是其年度最受瞩目的内容之一。为确定入选企业,《Fast Company》的编辑与记者团队对全球各行业推动变革的企业进行调研,通过竞争性申报流程评估数千份参评资料,最终形成涵盖初创企业至全球一些最具价值公司的全球性创新指南。
《Fast Company》主编Brendan Vaughan表示:“我们的‘最具创新力公司’榜单旨在表彰那些不仅适应变化、更主动引领变革的机构。本年度入选企业重新定义了2026年的领导力内涵,将大胆构想与切实影响力相结合,将突破性创新转化为实际价值。他们为所在行业确立发展节奏,为可持续创新提供实践范本。”
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